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A comprehensive study on the structural evolution of HfO2thin films doped with various dopants
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作者
Min Hyuk Park,
Tony Schenk,
Chris M. Fancher,
Everett D. Grimley,
Chuanzhen Zhou,
Claudia Richter,
James M. LeBeau,
Jacob L. Jones,
Thomas Mikolajick,
Uwe Schroeder
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2017-01-01
卷期号：5 (19): 4677-4690
被引量：316
链接
osti.gov
doi.org
标识
DOI：10.1039/c7tc01200d
摘要
Quantitative phase analysis is first performed on doped Hafnia films to elucidate the structural origin of unexpected ferroelectricity.
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