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A comprehensive study on the structural evolution of HfO2thin films doped with various dopants

材料科学 掺杂剂 兴奋剂 薄膜 化学工程 工程物理 纳米技术 光电子学 工程类
作者
Min Hyuk Park,Tony Schenk,Chris M. Fancher,Everett D. Grimley,Chuanzhen Zhou,Claudia Richter,James M. LeBeau,Jacob L. Jones,Thomas Mikolajick,Uwe Schroeder
出处
期刊：Journal of Materials Chemistry C [The Royal Society of Chemistry]
日期：2017-01-01 卷期号：5 (19): 4677-4690 被引量：256
链接
osti.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/c7tc01200d
摘要
Quantitative phase analysis is first performed on doped Hafnia films to elucidate the structural origin of unexpected ferroelectricity.
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