Aerial image based metrology of EUV masks: recent achievements, status, and outlook for the AIMS EUV platform

已完结

文献求助详情

标题	Aerial image based metrology of EUV masks: recent achievements, status, and outlook for the AIMS EUV platform 相关领域极紫外光刻计量学航空影像光掩模计算机科学极端紫外线系统工程光学工程类物理材料科学纳米技术抵抗图像（数学）人工智能激光器图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2297681
DOI	10.1117/12.2297681 doi
其它	期刊：作者：Renzo Capelli; Martin Dietzel; Dirk Hellweg; Markus Koch; Conrad T. Wolke; et al 出版日期：2018-03-19
求助人	看文献搞科研在 2026-01-07 11:29:45 发布自北京，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让源源不断科研创作灵感的涌现之地

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 量子星尘发布了新的文献求助10

1秒前; 小二郎的应助被kai chen采纳，获得10

1秒前; 科研通AI6的应助被隐形饼干采纳，获得10

1秒前; 科研通AI6的应助被hebishan采纳，获得10

1秒前; 可爱的函函上传了应助文件

1秒前; 顺利的似狮发布了新的文献求助10

2秒前; 丘比特的应助被lilili采纳，获得10

2秒前; PHHHH发布了新的文献求助10

2秒前; wxyshare上传了应助文件

4秒前; 嘿嘿发布了新的文献求助10

4秒前; 嗯嗯你说发布了新的文献求助10

4秒前; 小白鼠完成签到，获得积分10

5秒前; NexusExplorer的应助被江湖樊南生采纳，获得10

6秒前; 封雁菡完成签到，获得积分10

7秒前; 失眠亦寒发布了新的文献求助10

7秒前; 满意的凌雪完成签到，获得积分20

8秒前; 华仔上传了应助文件

9秒前; 子车茗的应助被阿部采纳，获得30

11秒前; 英姑的应助被顺利的似狮采纳，获得10

12秒前; 852的应助被低空飞行采纳，获得10

12秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

12秒前; 满意的凌雪发布了新的文献求助10

12秒前; 解语花发布了新的文献求助150

13秒前; 捡鹅卵石的笨蛋完成签到，获得积分10

13秒前; raininjuly的应助被sss采纳，获得10

13秒前; tan发布了新的文献求助10

13秒前; 首页发布了新的文献求助10

14秒前; 潇洒耷完成签到，获得积分10

15秒前; ewind完成签到，获得积分10

15秒前; FashionBoy的应助被dsds采纳，获得30

16秒前; 林白发布了新的文献求助50

16秒前; 郑哲楷的应助被wsx采纳，获得150

17秒前; 1123发布了新的文献求助10

18秒前; 慕青的应助被疯狂的面包采纳，获得10

18秒前; 李健的小迷弟的应助被失眠亦寒采纳，获得10

18秒前; 小小怪下士上传了应助文件

18秒前; 西地兰卡发布了新的文献求助10

19秒前; 害羞问安完成签到，获得积分10

19秒前; 大魔王发布了新的文献求助10

19秒前; 311发布了新的文献求助30

19秒前