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 Thermodynamic study on the carbothermal nitridation synthesis of silicon nitride using silicon kerf loss 利用硅切口损耗碳热氮化合成氮化硅的热力学研究
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期刊：Journal of Thermal Analysis and Calorimetry 作者：Xing Jin; Jian Kong; Shengnan Jiang; Donghui Wei; Pengfei Xing; et al 出版日期：2019-07-19 |
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