Stabilization and stripping of high current implanted photoresists

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标题	Stabilization and stripping of high current implanted photoresists 大电流注入光刻胶的稳定和剥离相关领域剥离（纤维）电流（流体）材料科学光电子学电气工程工程类复合材料
网址	http://doi.org/10.1109/iit.1999.812183
DOI	10.1109/iit.1999.812183 doi
其它	期刊：作者：Duncan Marshall; B. S. Freer; M. Ameen; D. Whiteside; G. Dahrooge; et al 出版日期：2003-01-20
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