Plasma Processing for Silicon-Based Integrated Circuits

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标题	Plasma Processing for Silicon-Based Integrated Circuits
网址	https://doi.org/10.1149/2.F07992IF
DOI	10.1149/2.F07992IF doi
其它	期刊：The Electrochemical Society Interface 作者：G. S. Mathad; D.W. Hess; M. Meyyappan 出版日期：1999
求助人	积极的初南在 2026-01-28 03:51:55 发布自湖北，悬赏 10 积分
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