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  A Novel AlN/Sc0.2Al0.8N-Based Piezoelectric Composite Thin-Film-Enabled Bioinspired Honeycomb MEMS Hydrophone 一种新型AlN/Sc0.2Al0.8N基压电复合材料薄膜仿生蜂窝MEMS水听器
相关领域
材料科学
水听器
压电
灵敏度（控制系统）
纳米发生器
声学
光电子学
光学
复合材料
电子工程
物理
工程类
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| 其它 |
期刊：Micromachines 作者：Fansheng Meng; Chaoshuai Zhang; G.J. Zhang; Renxin Wang; Changde He; et al 出版日期：2025-04-11 |
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