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  Investigation of the deposition of α-tantalum (110) films on a-plane sapphire substrate by molecular beam epitaxy for superconducting circuit 超导电路用分子束外延法在A面蓝宝石衬底上沉积α-钽（110）薄膜的研究
相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Haolin Jia; Boyi Zhou; Tao Wang; Yanfu Wu; Lina Yang; et al 出版日期：2023-09-01 |
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