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材料导报 2020, Vol. 34 Issue (19): 19101-19110 https://doi.org/10.11896/cldb.19070231 金属与金属基复合材料 | 原子层沉积氮化钽薄膜的研究进展
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乌李瑛, 瞿敏妮, 付学成, 田苗, 马玲, 王英, 程秀兰 上海交通大学电子信息与电气工程学院,先进电子材料与器件平台,上海 200240 |
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(2025-6-4)
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