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标题
Mean Free Path of Electrons in Organic Photoresists for Extreme Ultraviolet Lithography in the Kinetic Energy Range 20–450 eV
相关领域
材料科学 光刻胶 平均自由程 平版印刷术 电子 抵抗 光电子学 动能 分子物理学 光学 纳米技术 化学 物理 散射 量子力学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1021/acsami.3c05884
DOI
10.1021/acsami.3c05884 doi
其它 期刊：ACS Applied Materials & Interfaces
作者：Roberto Fallica; Nicola Mahne; Thierry Conard; A. Vanleenhove; Danilo De Simone; et al
出版日期：2023-07-14
求助人
louis 在 2026-02-05 22:02:26 发布自福建，悬赏 10 积分
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