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[高分]
 Characteristic of LiNbO3 thin film ICP etching for micro/nano fabrication 相关领域
蚀刻（微加工）
制作
材料科学
微电子机械系统
感应耦合等离子体
反应离子刻蚀
薄膜
燃烧室压力
光电子学
各向同性腐蚀
谐振器
干法蚀刻
射频功率放大器
铌酸锂
体积流量
等离子体刻蚀
分析化学（期刊）
声表面波
无线电频率
等离子体
扫描电子显微镜
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Yantao Huang; Yushuai Liu; Tao Wu 出版日期：2026-01-12 |
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