TEM-EDS studies on Si diffusion behavior in heteroepitaxial AlN polarity inversion structures on Si substrates

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标题	TEM-EDS studies on Si diffusion behavior in heteroepitaxial AlN polarity inversion structures on Si substrates
网址	https://doi.org/10.1117/12.3087174
DOI	10.1117/12.3087174 doi
其它	期刊：Fourteenth National Conference on Photonics 作者：Jian-Nan Hu; Guo-Ying Wang; Hui Li; Shuo Wang; Ruo-Yu Ma; et al 出版日期：2025-12-03
求助人	SUNJJ 在 2026-05-26 14:01:54 发布自广东，悬赏 20 积分
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