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标题
Dry Etching Solutions to Contact Hole Profile Optimization for Advanced Logic Technologies
网址
https://doi.org/10.1149/1.3694338
DOI
10.1149/1.3694338 doi
其它 期刊：ECS Transactions
作者：Xin-Peng Wang; Yi Huang; Qiu-Hua Han; Hai-Yang Zhang; Kwok-Fung Lee
出版日期：2012
求助人
安and航 在 2026-04-01 17:06:16 发布自上海，悬赏 10 积分
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