High Dopant Activation of Phosphorus in Strained and Relaxed GeSn by Rapid Thermal Annealing and Microwave Annealing

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标题	High Dopant Activation of Phosphorus in Strained and Relaxed GeSn by Rapid Thermal Annealing and Microwave Annealing
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/8718786/8731017/08731031...
DOI	10.1109/edtm.2019.8731031 doi
其它	期刊：2019 Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM) 作者：Jia-You Liu; Po-Yuan Chiu; Yen Chuang; Chia-You Liu; Guang-Li Luo; Jiun-Yun Li 出版日期：2019-06-07
求助人	小白在 2026-04-03 04:07:07 发布自上海，悬赏 10 积分
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