Alkenyl-fluorine synergy for enhanced resolution and reduced line-edge roughness in tin-oxo cluster photoresists

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标题	Alkenyl-fluorine synergy for enhanced resolution and reduced line-edge roughness in tin-oxo cluster photoresists
网址	https://doi.org/10.1007/s11426-026-3444-7
DOI	10.1007/s11426-026-3444-7 doi
求助人	库库熬夜在 2026-04-21 10:31:01 发布自湖北，悬赏 10 积分
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