New chemical pathway for large-area deposition of doped diamond films by linear antenna microwave plasma chemical vapor deposition

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标题	New chemical pathway for large-area deposition of doped diamond films by linear antenna microwave plasma chemical vapor deposition
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092596352...
DOI	10.1016/j.diamond.2022.109111 doi
其它	期刊：Diamond and Related Materials 作者：Marián Marton; Marian Vojs; Pavol Michniak; Miroslav Behúl; Vlastimil Rehacek; et al 出版日期：2022-05-23
求助人	郗文佳在 2026-04-16 18:33:50 发布自贵州，悬赏 10 积分
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