Sub-3 DB Insertion Loss Broadband Acoustic Delay Lines and High Fom Resonators in LiNbO3/SiO2/Si Functional Substrate

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标题	Sub-3 DB Insertion Loss Broadband Acoustic Delay Lines and High Fom Resonators in LiNbO3/SiO2/Si Functional Substrate
网址	https://doi.org/10.1109/MEMS49605.2023.10052343
DOI	10.1109/MEMS49605.2023.10052343 doi
其它	期刊：2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 作者：Chun-Chen Yeh; Chia-Hsien Tsai; Guan-Lin Wu; Tzu-Hsuan Hsu; Ming-Huang Li 出版日期：2023
求助人	russ 在 2026-03-31 17:30:03 发布自广东，悬赏 10 积分
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