PLASMA PARAMETERS AND FLUORINE ATOM DENSITY IN SF6 + Ar + He GAS MIXTURE: EFFECTS OF Ar/He MIXING RATIO, PRESSURE AND INPUT POWER

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标题	PLASMA PARAMETERS AND FLUORINE ATOM DENSITY IN SF6 + Ar + He GAS MIXTURE: EFFECTS OF Ar/He MIXING RATIO, PRESSURE AND INPUT POWER
网址	https://ctj-isuct.ru/article/download/6057/3667
DOI	10.6060/ivkkt.20256803.7130 doi
其它	期刊：ChemChemTech 作者：Andrey V. Miakonkikh; Vitaly O. Kuzmenko; Alexander M. Efremov; Konstantin V. Rudenko 出版日期：2025-02-13
求助人	Joyezhou 在 2026-05-20 18:00:46 发布自广东，悬赏 10 积分
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