SVD-based layout representation for lithographic hotspot detection

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标题	SVD-based layout representation for lithographic hotspot detection
网址	https://doi.org/10.1117/12.3093251
DOI	10.1117/12.3093251 doi
其它	期刊：Ninth International Workshop on Advanced Patterning Solutions (IWAPS 2025) 作者：Yibo Huang; Silin Chen; Hao Shu; Jiahao Wang; Wenbo Xu; et al 出版日期：2025
求助人	能力越小责任越小在 2026-03-17 16:04:50 发布自安徽，悬赏 20 积分
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Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

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