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Plasma-enhanced atomic layer deposition: Correlating O2 plasma parameters and species to blister formation and conformal film growth
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网址
https://doi.org/10.1116/6.0001094
DOI
10.1116/6.0001094 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Andreas Werbrouck; Kevin Van de Kerckhove; Diederik Depla; Dirk Poelman; Philippe Smet; et al
出版日期：2021-12-01
求助人
zzcherished 在 2023-01-12 22:14:46 发布自安徽，悬赏 10 积分
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