Deposition of TiN and HfO2 in a commercial 200mm remote plasma atomic layer deposition reactor

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标题	Deposition of TiN and HfO2 in a commercial 200mm remote plasma atomic layer deposition reactor
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	J Vac Sci Technol A. 2007;25:1357–1366.
求助人	施宛儿在 2023-02-28 15:10:09 发布自福建，悬赏 10 积分
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