Low-resistivity and high-density molybdenum carbonitride films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition

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标题	Low-resistivity and high-density molybdenum carbonitride films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S027288422...
DOI	10.1016/j.ceramint.2025.01.065 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Ji Sang Ahn; Wangu Kang; Jeong Hwan Han 出版日期：2025-01-06
求助人	找不到在 2026-07-18 17:08:39 发布自福建，悬赏 10 积分
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