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标题
Mechanical and optical properties of amorphous silicon nitride-based films prepared by electron cyclotron resonance plasma-enhanced chemical vapor deposition
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002896
DOI
10.1116/6.0002896 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Brahim Ahammou; Paramita Bhattacharyya; Christophe Levallois; Fahmida Azmi; Jean-Pierre Landesman; et al
出版日期：2023-08-23
求助人
kiki 在 2026-08-14 16:09:48 发布自江苏，悬赏 10 积分
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