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Adsorption on 3C-SiC surfaces in chemical vapor deposition process of CH3SiCl3–H2 system: a first-principles study |
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期刊:Physica Scripta 作者:Bowen Yin; Longteng Bai; Xiaohui Yang; Jin Zhou; Lu Wang; et al 出版日期:2023-04-28 |
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(2025-6-4)