Loading effects in deep silicon etching

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标题	Loading effects in deep silicon etching
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/redirect/proceedings/proc...
DOI	10.1117/12.396475 doi
其它	期刊：SPIE MOEMS-MEMS 作者：J. Karttunen; J. Kiihamaki; S. Franssila 出版日期：2000-08-25
求助人	壮观的夏蓉在 2026-07-14 21:46:14 发布自北京，悬赏 20 积分
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American Society of Mechanical Engineers (ASME)

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