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标题
Wet etch process for high-resolution DSA patterning for advanced node DRAM
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DOI
10.1117/12.3011188 doi
其它 期刊:Advances in Patterning Materials and Processes XLI
作者:Hsing-Chen Wu; Ming-Chi Liao; Eri Hirahara; Tomohiro Iwaki
出版日期:2024-04-09
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添柴 在 2026-09-11 14:00:01 发布自四川,悬赏 20 积分
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