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Etch of nano-TSV with smooth sidewall and excellent selection ratio for backside power delivery network
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网址
https://doi.org/10.1016/j.mee.2024.112265
DOI
10.1016/j.mee.2024.112265 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Yang Wang; Ziyu Liu; Yabin Sun; Lin Chen; Qingqing Sun
出版日期：2024-09-06
求助人
impecme 在 2026-06-13 13:47:55 发布自湖北，悬赏 10 积分
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