Critical dimension small angle X-ray scattering measurements of FinFET and 3D memory structures

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标题	Critical dimension small angle X-ray scattering measurements of FinFET and 3D memory structures
网址	https://doi.org/10.1117/12.2012019
DOI	10.1117/12.2012019 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE 作者：Charles Settens; Benjamin Bunday; B. L. Thiel; R. Joseph Kline; Daniel F. Sunday; et al 出版日期：2013-04-10
求助人	iceburg 在 2026-07-27 20:42:22 发布自上海，悬赏 20 积分
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