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标题
Tabletop extreme ultraviolet test platform for optical property evaluation of lithography materials
网址
http://dx.doi.org/10.1116/6.0004988
DOI
10.1116/6.0004988 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B
作者：Eun-Seok Choe; Wooram Kim; Young-Gi Kim; Do-Yeon Hwang; Hee-Jung Yeom; et al
出版日期：2026-01-01
求助人
wonderingria 在 2026-06-30 13:32:39 发布自上海，悬赏 10 积分
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