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标题
Lithium Niobate Electro-Optical Modulator based on ion-cut wafer scale heterogeneous bonding on patterned SOI wafers
基于图案化SOI晶片上离子切割晶片级异质键合的铌酸锂电光调制器
相关领域
铌酸锂 薄脆饼 材料科学 绝缘体上的硅 光电子学 晶片键合 光调制器 离子 光学 硅 相位调制 化学 物理 有机化学 相位噪声
网址
https://doi.org/10.1364/prj.534954
DOI
10.1364/prj.534954 doi
其它 期刊：Photonics Research
作者：Zhuoyun Li; Yang Chen; Shuxiao Wang; Fan Xu; Qiang Xu; et al
出版日期：2024-10-16
求助人
zz 在 2025-04-28 20:07:09 发布自澳大利亚，悬赏 10 积分
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