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 Mechanical reliabilty of MEMS fabricated by a special technology using standard silicon wafers 使用标准硅片通过特殊技术制造的MEMS的机械可靠性
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期刊：Proceedings of SPIE 作者：Christian Lohmann; A. Bertz; Matthias Kuechler; Danny Reuter; Thomas Geßner 出版日期：2003-01-25 |
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