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标题
Toward Mo2C EUV pellicles: hydrogen-plasma qualification and technologies for full-size membrane fabrication
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3125429
DOI
10.1117/12.3125429 doi
其它 期刊：International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2026
作者：Yongkyung Kim; Jonghyuk Yoon; Hyukjin Song; Taehwan Kim; Heongyu Lee; et al
出版日期：2026-10-23
求助人
淡然冬灵 在 2026-09-24 17:46:02 发布自河南，悬赏 20 积分
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