Broadband self-calibrating micromachined microphones with integrated optical displacement detection

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标题	Broadband self-calibrating micromachined microphones with integrated optical displacement detection
网址	http://dx.doi.org/10.1007/978-3-642-59497-7_27
DOI	10.1007/978-3-642-59497-7_27 doi
求助人	orian 在 2026-10-20 20:50:24 发布自湖北，悬赏 10 积分
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