Resolution–linewidth roughness–sensitivity performance tradeoffs for an extreme ultraviolet polymer bound photo-acid generator resist

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标题	Resolution–linewidth roughness–sensitivity performance tradeoffs for an extreme ultraviolet polymer bound photo-acid generator resist
网址	https://doi.org/10.1117/1.3555090
DOI	10.1117/1.3555090 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 作者：Roel Gronheid 出版日期：2011
求助人	zhoujiajun 在 2026-06-08 21:37:12 发布自广西，悬赏 20 积分
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