A high-performance 10 mm diameter MEMS fast steering mirror with integrated piezoresistive angle sensors for laser inter-satellite links

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标题	A high-performance 10 mm diameter MEMS fast steering mirror with integrated piezoresistive angle sensors for laser inter-satellite links
网址	https://www.nature.com/articles/s41378-025-00935-1.pdf
DOI	10.1038/s41378-025-00935-1 doi
其它	期刊：Microsystems & Nanoengineering 作者：Wenli Xue; Yichen Liu; Xingwang Zhu; Mingkun Wang; Zhichao Weng; et al 出版日期：2025-04-29
求助人	Bingbingbing 在 2026-03-15 14:50:18 发布自湖南，悬赏 10 积分
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