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 Recycling SiC Focus Rings for Reactive Ion Etching Equipment by Insertless Diffusion Bonding using Hot Isostatic Pressing 相关领域
材料科学
蚀刻（微加工）
表面粗糙度
薄脆饼
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化学气相沉积
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Tetsuyuki Matsumoto; Junji Kataoka; Reiko Saito; Tetsuya Homma 出版日期：2020-12-01 |
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