Super planarizing material for trench and via arrays

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标题	Super planarizing material for trench and via arrays 相关领域化学机械平面化材料科学沟槽浅沟隔离粘度平版印刷术基质（水族馆）机械工程抛光光电子学计算机科学纳米技术复合材料工程类海洋学图层（电子）地质学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2552129
DOI	10.1117/12.2552129 doi
其它	期刊：作者：Runhui Huang; Xing-Fu Zhong; Boyu Zhang; Jakub A. Koza; Sean C. Smith; et al 出版日期：2020-03-23
求助人	美好斓在 2025-10-24 20:41:05 发布自河南，悬赏 20 积分
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