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 Reliability of MOL local interconnects MOL局部互连的可靠性
相关领域
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电介质
节点（物理）
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覆盖
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炸薯条
计算机科学
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期刊：2022 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) 作者：T. Kauerauf; A. Branka; Giuseppe Sorrentino; Ph. Roussel; S. Demuynck; et al 出版日期：2013-04-01 |
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