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Reliability of MOL local interconnects
MOL局部互连的可靠性
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可靠性（半导体） 随时间变化的栅氧化层击穿 电介质 节点（物理） 极性（国际关系） 覆盖 CMOS芯片 晶体管 材料科学 电气工程 光电子学 缩放比例 炸薯条 计算机科学 栅极电介质 物理 电压 工程类 化学 数学 细胞 程序设计语言 几何学 功率（物理） 量子力学 生物化学
网址
https://doi.org/10.1109/irps.2013.6531970
DOI
10.1109/irps.2013.6531970 doi
其它 期刊：2022 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS)
作者：T. Kauerauf; A. Branka; Giuseppe Sorrentino; Ph. Roussel; S. Demuynck; et al
出版日期：2013-04-01
求助人
zaezae 在 2025-09-21 23:44:22 发布自上海，悬赏 10 积分
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  • 1小时前

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