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 Plasma-enhanced chemical vapor deposition of amorphous silicon carbonitride: Deposition temperature dependence of bonding structure, refractive index, mechanical stress and their aging under ambient air 相关领域
材料科学
无定形固体
椭圆偏振法
等离子体增强化学气相沉积
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期刊：Thin Solid Films 作者：Christian Huber; Benedikt Stein; H. Kalt 出版日期：2017-05-03 |
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