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[高分] Structural and analytical characterization of Si1-x Gex /Si heterostructures by Rutherford backscattering spectrometry and channeling, analytical electron microscopy and double crystal X-ray diffractometry
通过卢瑟福背散射光谱和沟道、分析电子显微镜和双晶X射线衍射对Si1-x Gex/Si异质结构的结构和分析表征
相关领域
卢瑟福背散射光谱法 表征(材料科学) 异质结 X射线 材料科学 质谱法 分析化学(期刊) 结晶学 化学 光学 纳米技术 光电子学 物理 薄膜 色谱法
网址
DOI
10.1051/mmm:0199200304036300 doi
其它 期刊:Microscopy Microanalysis Microstructures
作者:A. Armigliato; M. Servidori; F. Cembali; Rita Fabbri; Rodolfo Rosa; et al
出版日期:1992-01-01
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