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标题
Working gas pressure and flow effects on reactively sputtered molybdenum oxide thin films
工作气体压力和流量对反应溅射氧化钼薄膜的影响
相关领域
材料科学 钼 薄膜 氧化钼 冶金 流量（数学） 氧化物 溅射 机械 纳米技术 物理
网址
https://doi.org/10.1016/0257-8972(92)90187-f
DOI
10.1016/0257-8972(92)90187-f doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：A Jankowski
出版日期：1992-11-16
求助人
一夜暴富 在 2025-10-28 07:07:44 发布自河北，悬赏 10 积分
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