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标题
[高分] Plasma Polymerized SiCOH Films from Octamethylcyclotetrasiloxane by Dual Radio Frequency Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition System
双射频电感耦合等离子体化学气相沉积法制备八甲基环四硅氧烷SiCOH薄膜
相关领域
材料科学 射频功率传输 等离子体聚合 复合材料 化学气相沉积 分析化学（期刊） 薄膜 纳米压痕 感应耦合等离子体 弹性模量 等离子体 等离子体增强化学气相沉积 电介质 聚合 光电子学 聚合物 纳米技术 量子力学 CMOS芯片 物理 化学 色谱法 放大器
网址
https://doi.org/10.1166/jnn.2021.19417
DOI
10.1166/jnn.2021.19417 doi
其它 期刊：Journal of Nanoscience and Nanotechnology
作者：Hyuna Lim; Yoon‐Soo Park; Namwuk Baek; So-Yeon Jun; Sung‐Woo Lee; et al
出版日期：2021-03-14
求助人
mingzhi 在 2025-10-28 07:04:19 发布自辽宁，悬赏 150 积分
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