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Influence of power and pulsed regime of low frequency discharge on clusters incorporation in dielectric films for ReRAM application 相关领域
材料科学
等离子体增强化学气相沉积
电介质
氧化硅
硅
硅烷
光电子学
电阻随机存取存储器
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非易失性存储器
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纳米技术
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化学工程
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化学
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期刊: 作者:А. А. Попов; A. E. Berdnikov 出版日期:2019-03-15 |
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