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 Comparative Study of Tungsten Films Grown By Atomic Layer Deposition with Newly Synthesized Metalorganic and Halide Precursor 用新合成的金属有机和卤化物前驱体原子层沉积生长钨薄膜的比较研究
相关领域
钨
材料科学
原子层沉积
卤化物
化学工程
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生物
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期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM) 作者：Sangkyu Sun; Yujin Lee; Seunggi Seo; Taewook Nam; Hyunho Lee; et al 出版日期：2021-05-30 |
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