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 Optimization of the Ion Source Parameters to Change the Proportion of Single and Molecular Ions in Plasma 改变等离子体中单离子和分子离子比例的离子源参数优化
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期刊：2018 22nd International Conference on Ion Implantation Technology (IIT) 作者：Masamitsu Kawamura; Tetusro Yamamoto; Yusuke Kuwata; Shigeki Sakai; Nariaki Hamamoto 出版日期：2018 |
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