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标题
Optimization of PVD SiCN Deposition for Cu/SiCN Hybrid Bonding Applications
Cu/SiCN混合键合应用中PVD SiCN沉积的优化
相关领域
材料科学 沉积（地质） 物理气相沉积 原子层沉积 光电子学 纳米技术 薄膜 地质学 沉积物 古生物学
网址
https://doi.org/10.23919/icep-iaac64884.2025.11002925
DOI
10.23919/icep-iaac64884.2025.11002925 doi
其它 期刊：
作者：Junyoung Choi; Suin Jang; Dongmyeong Lee; Hoogwan Lee; Sarah Eunkyung Kim
出版日期：2025-04-15
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高兴的滑板 在 2025-12-31 08:43:43 发布自福建，悬赏 10 积分
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