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标题
Deposition and mechanical properties of δ-TaNx films with different stoichiometry by DC magnetron sputtering
不同化学计量比δ-TaNx薄膜的直流磁控溅射沉积及力学性能
相关领域
材料科学 摩擦学 复合材料 溅射沉积 高分辨率透射电子显微镜 化学计量学 弹性模量 X射线光电子能谱 断裂韧性 微观结构 压痕硬度 腔磁控管 拉曼光谱 薄膜 摩擦学 溅射 化学工程 纳米技术 透射电子显微镜 光学 化学 物理 有机化学 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2020.126452
DOI
10.1016/j.surfcoat.2020.126452 doi
其它 期刊：Surface & Coatings Technology
作者：Hang Li; Jianliang Li; Chengqi Yan; Jiewen Huang; Jian Kong; et al
出版日期：2020-09-30
求助人
火星上的兔子 在 2025-12-08 22:12:50 发布自重庆，悬赏 10 积分
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