Parametric optimization of CVD process for DLC Thin film coatings: a comparative analysis

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标题	Parametric optimization of CVD process for DLC Thin film coatings: a comparative analysis 相关领域材料科学摩擦学沉积（地质）化学气相沉积帕累托原理工艺优化过程（计算）多目标优化工艺工程计算机科学复合材料纳米技术化学工程数学优化数学工程类生物操作系统机器学习古生物学沉积物
网址	https://doi.org/10.1007/s12046-022-01842-1
DOI	10.1007/s12046-022-01842-1 doi
其它	期刊：Sadhana 作者：Kanak Kalita; Ranjan Kumar Ghadai; Shankar Chakraborty 出版日期：2022-03-22
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