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 Self-aligned etching of subwavelength longwave infrared type-II superlattice pixels 相关领域
光电子学
材料科学
超晶格
堆栈（抽象数据类型）
感应耦合等离子体
红外线的
点间距
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等离子体
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蚀刻（微加工）
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期刊： 作者：Nicole Pfiester; Sophie A. Mills; Jordan Budhu; K. K. Choi; Christopher Ball; et al 出版日期：2021-04-09 |
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