Laser direct lithography of large-area three-dimensional integrated photonics: Technological challenges and advances

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标题	Laser direct lithography of large-area three-dimensional integrated photonics: Technological challenges and advances 相关领域平版印刷术光子学无光罩微影激光器纳米技术材料科学工程物理工程类光电子学光学物理电子束光刻抵抗图层（电子）
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S270947232...
DOI	10.1016/j.chip.2025.100157 doi
其它	期刊：Chip 作者：Lijing Zhong; Yuying Wang; Xuhu Han; Jiacheng Hu; Jianrong Qiu 出版日期：2025-06-14
求助人	芋圆在 2026-03-02 19:29:38 发布自四川，悬赏 10 积分
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