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Influence of Thin Film Deposition on AFM Cantilever Tips in Adhesion and Young’s Modulus of MEMS Surfaces 相关领域
悬臂梁
材料科学
原子力显微镜
微电子机械系统
粘附
复合材料
沉积(地质)
薄膜
模数
杨氏模量
弹性模量
纳米技术
古生物学
生物
沉积物
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期刊:Materials 作者:Pedram Heidari; Majid Salehi; Behrooz Ruhani; Violeta Purcar; Simona Căprărescu 出版日期:2022-03-12 |
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